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旋片式真空泵的使用方法
点击次数:202 发布时间:2018-07-21

旋片式真空泵是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片式真空泵选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率等优点。因为旋片式真空泵的结构紧凑、抽速大、占地面积小,所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

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